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Technologie Hochintegrierter Schaltungen
Widmann, Dietrich; Mader, Hermann; Friedrich, Hans-Edwin
€ 139.74
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Description for Technologie Hochintegrierter Schaltungen
Paperback. Series: Halbleiter-Elektronik. Num Pages: 383 pages, black & white illustrations, bibliography. BIC Classification: TJF; TJFD. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 235 x 155 x 21. Weight in Grams: 549.
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Atztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozessintegration fur den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozesstechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktarmetalle, modernste Prozessarchitekturen fur CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Atztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
Product Details
Format
Paperback
Publication date
2012
Publisher
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG Germany
Language
German
Number of pages
383
Condition
New
Series
Halbleiter-Elektronik
Number of Pages
366
Place of Publication
Berlin, Germany
ISBN
9783642648328
SKU
V9783642648328
Shipping Time
Usually ships in 15 to 20 working days
Ref
99-15
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