Werkstuckbegleitender Informationsspeicher Als Basis Fur Ein Informationstechnisches Konzept Fur Halbleiterfertigungen
Klaus-Dieter Sauter
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Description for Werkstuckbegleitender Informationsspeicher Als Basis Fur Ein Informationstechnisches Konzept Fur Halbleiterfertigungen
Paperback. Series: IPA-IAO - Forschung und Praxis. Num Pages: black & white illustrations, bibliography. BIC Classification: KJU; TBC; TJF; TJFM. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 210 x 148 x 6. Weight in Grams: 210.
Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Grunden eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhohung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhohen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, dass Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerat und Fordergut berucksichtigt werden mussen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Losungen fur ... Read more
Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Grunden eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhohung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhohen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, dass Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerat und Fordergut berucksichtigt werden mussen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Losungen fur ... Read more
Product Details
Format
Paperback
Publication date
1990
Publisher
Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG Germany
Language
German
Condition
New
Series
IPA-IAO - Forschung und Praxis
Number of Pages
118
Place of Publication
Berlin, Germany
ISBN
9783540532361
SKU
V9783540532361
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Ref
99-15
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